中央研究院10日發表量子電腦晶片製程科學研發成果，不僅成功以8吋晶圓機台製作高品質超導量子位元，也揭牌臺灣首座量子晶片製程研發平台與量子計算測試平台。廖俊智院長指出，發展量子科學必須同時投入高階製程研發人力，及尖端硬體設施。中央研究院所設置的兩項重要量子設施將開放全國學研界合作使用，希望藉由資源整合與平台共享的效益，推動臺量子科技的發展，並吸引更多優秀人才投入量子關鍵領域的研究。

中研院團隊過去三年主導相關研究計畫，除了在傳統4吋機台上成功驗證尖端超導量子位元製程，並達到國際水準以外，同時與工研院電光所及國研院半導體中心密切合作，進一步在自動化8吋機台上，成功開發數種超導量子位元的新式製程。

10日揭牌的「量子晶片製程研發平台」(QC-Fab, Quantum Chip Fabrication Space)，為臺灣首座專為製造超導量子晶片所建構的8吋製程平台設施，具完善製程能力與即時檢測設備，可支援各類型超導量子位元製程的開發，以及高品質超導量子晶片與參數放大器研發。團隊也持續發展與建立三維堆疊製程技術，以打造多量子位元晶片為目標。

另外，「量子計算測試平台」(QC-Test, Quantum Computing Test Space)則建置多套完整的低溫量測系統，配備高速、高精度的量測儀器與自動化控制，能快速最佳化量子邏輯閘操作，降低人力訓練成本。

現今全球先進國家都積極布局量子科技，投入大量研發人力及資源以掌握最新技術。為拓展「量子國家隊」的研發能量，中研院、國研院、工研院及多所大學持續合作。據悉，目前團隊已開發並測試多種晶片封裝與電磁屏蔽設計，能提供低雜訊、高精度的量測環境，有效提升量子晶片的性能與穩定度。未來也將開放具備可調耦合功能的5位元超導量子處理器，供上層軟體堆疊的研發使用。【記者  鄭昱庭整理報導】