石墨烯新應用 長庚大學獲國際期刊肯定

石墨烯的材料擁有優異性質,近年來深受高度關注。長庚大學可靠度科學技術研究中心陳始明主任發現,金屬夾帶石墨烯的結構,可以廣泛應用於電化學、電鍍、印刷電路板互連與IC互連製造……等,研究團隊在實驗過程中,還找到了既簡單又省錢、環保的製造方法,相關的研究成果,已於今(2018)年7月登上國際知名期刊「先進材料介面」(Advanced Materials Interfaces)的封面內頁。

陳始明表示,原先在研究時,曾為了石墨烯是否會受到IC製程中電解質溶液的侵襲而苦惱,後來在實驗中發現,石墨烯在硫酸銅溶液中不僅沒被腐蝕,反而直接「鍍」上了銅,完全不需採用複雜、易有污染的電鍍程序,於是,與研究團隊了解其潛在機制,並發現了其科學依據,順利完成後續研究。

「石墨烯」有許多獨特的性能,像是導電性、散熱性、透光性及優良的機械性等等。為了讓IC電路電子元件的互連性更佳,陳始明嘗試用「銅─石墨烯─銅」的結構,取代目前僅以「銅」為材料傳導,希望追求更佳的經濟效益,果然發現石墨烯良好的電學和熱學特性,以及與半導體製程的相容性,具取代目前積體電路互連的巨大潛力。

他的研究為「金屬─石墨烯─金屬」(MGM)結構找到簡單、環保並具成本效益的製造方法,除了獲國際期刊肯定,也爭取到科技部計劃補助。陳始明表示,這可全面應用在IC製程上,已準備要將其薄化、工程化並申請專利推廣。【記者  鄭昱庭整理報導】